химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении

mažaslėgis cheminis garinis nusodinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. low-pressure chemical vapor deposition vok. chemische Niederdruckabscheidung aus der Gasphase, f rus. химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении, n pranc. déposition chimique en phase vapeur sous basse pression, f